正常データからの「外れ値」を検知し生産設備の異常を判別


登録会員限定記事現在はどなたでも閲覧可能です東京エレクトロン デバイスは生産設備の異常判別プログラムを自動で作成する装置「CX-M」に、正常稼働データのみからモデルを作成できる機能を追加した「同ver.3.0」を発売した(ニュースリリース)。正常稼働時のデータを学習し、そこからの変化を「外れ値」とし

サイト名: 日経xTECH

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